中微公司获得实用新型专利授权：“气体供应装置及半导体处理设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“气体供应装置及半导体处理设备”，专利申请号为CN202522545855.9，授权日为2026年11月10日。

专利摘要：本实用新型公开了一种气体供应装置及半导体处理设备，所述气体供应装置包括：安装板，固定设置在顶盖的上方；气体喷淋头，固定设置在安装板的底部；若干个吹扫气体传输通道，每个吹扫气体传输通道包括依次连通的第一通道、第二通道和第三通道，用于向反应腔内供应吹扫气体；第一通道呈环状分立布置且贯穿安装板，第二通道贯穿顶盖设置，第三通道位于顶盖的下表面和气体喷淋头的部分上表面之间；其中，第三通道的横截面尺寸是第二通道的横截面尺寸的2~5倍。本实用新型通过在气体喷淋头的周向形成均匀的气幕帘，提高了工艺均匀性和器件良率。

今年以来中微公司新获得专利授权145个，较去年同期增加了4.32%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了13.1亿元，同比增17.31%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目95次；财产线索方面有商标信息131条，专利信息1775条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：企查查

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