恒运昌：南方基金、中泰证券等多家机构于6月11日调研我司

来源：证星公司调研

2026-06-24 19:51:48

证券之星消息，2026年6月24日恒运昌（688785）发布公告称南方基金、中泰证券、同泰基金、善思投资、朱雀基金、山西证券、平安基金、招商证券、国泰基金、中邮证券、泉果基金、鹏华基金、平安证券、润晖投资、华兴证券于2026年6月11日调研我司。

具体内容如下：
问：请介绍一下公司2025年度及2026年一季度的业绩情况以及行业发展趋势
答：2025年公司实现营业收入约 5.29 亿元，主要原因是半导体行业具有周期波动的特性，下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采购呈现波动。2025年公司实现归属于上市公司股东的净利润约 1.14 亿元，主要原因是持续加大较高水平的研发投入，提高技术指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力，研发费用较上年同期大幅增加。2026年一季度，公司实现营业收入 1.24 亿元，主要原因是半导体行业具有周期波动的特性，下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采购呈现波动；公司实现归属于上市公司股东的净利润 1,758.28 万元，主要原因是公司全面提升公司运营管理，并持续推进研发投入和各类型人才引进，同时政府补助相对去年同期减少，且公司按照会计准则要求计提相应的资产减值损失。
根据弗若斯特沙利文数据，2024 年全球等离子体射频电源系统市场规模达 53.4 亿美元，过去五年复合增速达8.5%。未来全球等离子体射频电源系统市场规模将加速增长，2025-2029 年复合增长率预计为10.6%。2024年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场规模达 65.6 亿元，未来中国大陆半导体行业等离子体射频电源市场规模将继续快速增长，2025-2029 年复合增长率预计为 15.6%。根据SEMI发布的最新报告，2025年全球半导体设备销售额达1,350.6亿美元，中国在成熟制程及部分先进节点保持持续投入。

问：请公司目前的在手订单及客户拓展情况如何？
答：截至公司2025年年度报告披露日，公司持有尚未交付的在手订单共约 1.57 亿元。公司将充分发挥研发和技术优势，结合市场发展前景和客户需求，不断进行新产品的研发设计，结合公司丰富的技术和生产经验，积极响应拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、北京屹唐等行业头部半导体设备商需求，加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化应用，为客户提供性能更优、可靠性更高的产品，推进公司长期稳定发展。同时，公司还将积极推动主营业务产品向光伏、显示面板、精密光学等领域的拓展，通过内生研发等方式，不断提升公司产品性能与质量，并拓宽公司产品品类，助力公司长期稳定发展。

问：请介绍一下等离子体射频电源系统的应用领域
答：等离子体射频电源系统的应用较为广泛，除了半导体、光伏和显示面板等主要的应用领域，还包括精密光学领域、科研领域、航天领域、医疗等其他领域。公司的等离子体射频电源系统主要被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，以及光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。

问：请介绍一下公司第四代产品Cedar系列等离子体射频电源系统及其他新产品的研发进展
答：截至2025年年底，公司第四代等离子体射频电源系统 Cedar系列处于验证状态，该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。截至2025年年底，公司对MFC MEMES传感器的研发已处于完成初样流片及搭载测试平台阶段。结合公司未来发展规划，在产品布局方面，公司将采取双轮驱动发展策略，通过内生研发，持续优化现有产品，提升性能与质量，并拓宽产品品类；同时，公司未来将借助外部并购等战略举措，以进一步增强等离子体工艺核心零部件的供应能力，为客户提供一站式的产品和服务，致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。

问：请介绍一下公司自研产品远程等离子体源（RPS）、射频离子源的作用
答：远程等离子体源结构内包含一个放电腔室，该装置集成了等离子体射频电源、匹配器、独立腔室。其特点是等离子体产生的独立腔室与晶圆所在的反应腔隔离，故名“远程”。远程等离子体源在自有的独立腔室中通过等离子体射频电源系统将气体电离形成等离子体，再将产生的等离子体传输到晶圆所在的反应腔。
射频离子源系一种由一个或多个等离子体射频电源、匹配器及感应线圈（发射电极）等组成的用于激发等离子体的模块化装置，通过法兰安装到反应腔。射频离子源主要应用于显示面板、精密光学等领域的后氧化、离子辅助沉积等薄膜沉积工艺。

问：请具体介绍一下公司引进产品种类
答：公司基于等离子体发生条件和反应腔真空环境的实际需求，引进用于获得和维持真空环境的真空泵、用于流体精确控制的质量流量计以及用于真空镀膜装备的等离子体直流电源等核心零部件。公司引进产品和自研产品一同协作，共同为下游客户提供等离子体工艺解决方案。
（1）真空泵在半导体、工业镀膜等工艺中，将硅片或其他材料放入反应腔室后，需要使反应腔获得真空环境。真空泵是反应腔获取真空环境的核心零部件，用于在反应腔中产生和维持真空环境。（2）质量流量计在反应腔获取真空环境后，需要向反应腔室通入工艺气体，工艺气体被等离子体射频电源电离产生等离子体。此时需要通过质量流量计精确计量和输送。质量流量计是反应腔供气系统的核心零部件，用于对气体等进行质量流量的测量和控制。（3）等离子体直流电源公司引进的等离子体直流电源主要用于真空镀膜装备，即在反应腔内使用等离子体直流电源对靶材施加电压，使气体离子化，产生等离子体。这些离子在电场的作用下加速并轰击靶材，溅射出原子或分子，最终沉积在基材上，完成镀膜。

问：请介绍一下公司的技术服务业务
答：公司技术服务主要系为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务。等离子体射频电源系统在晶圆厂使用过程中会出现老化、故障等问题，需要及时进行更换或维修。国内主要晶圆厂被列入实体清单后，无法继续向原海外设备供应商采购备件或申请维修服务，公司为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修业务。

问：请介绍一下公司的核心技术及衡量公司主营产品技术水平的关键指标
答：历经十余年的持续研发、不断创新和积累，针对半导体设备尤其是先进制程中对高速、精准、稳定性能的严苛需求及技术瓶颈，公司构建了以‘基石技术+产品化支撑技术’为核心的技术架构，并基于‘等离子体电源全数字测量技术’、‘等离子体电源全数字环路控制技术’及‘等离子体电源高效功放技术’三大基石技术，并衍生出八大产品化支撑技术。衡量公司主营产品或核心技术的关键指标包括但不限于调谐时间、调谐频率重复性、功率精度、开启响应时间、关闭响应时间、功率重复性、脉冲上升时间、脉冲下降时间等。

问：请介绍一下公司的研发团队
答：截至2025年年底，公司研发人员共计158人，占公司总人数比例为39.01%。公司汇聚了一支在等离子体射频电源系统及半导体核心零部件行业拥有二十年以上从业经验的研发骨干团队，拥有深厚背景和丰富经验，对半导体技术的发展脉络、市场需求变化以及行业趋势有着深刻的认识和精准的把握。团队成员不仅在技术研发方面拥有卓越的能力和敏锐的洞察力，而且在运营管理和市场拓展等方面有着长期的从业经历，对半导体行业具有深刻理解和具有丰富的实践经验，是公司持续创新和保持竞争力的重要基石。

问：请介绍一下公司目前的产能情况
答：公司产能已连续三年超负荷运行，2025年公司产能利用率达98.51%。公司将通过多个措施提升产能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，助力其实现从试产到量产的跨越；同时推进深圳产能建设，加速产能落地；公司也将逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设，这些都将有助于后续产能的释放，为公司产能持续提升奠定基础。

问：请公司目前是否有股权激励计划？
答：公司已通过深圳市恒运昌投资中心（有限合伙）和深圳市恒运昌投资发展中心（有限合伙）作为员工持股平台实行了员工持股计划。同时，公司部分核心员工也参与了公司战略配售。未来公司若有相关激励计划或安排，公司将按照监管要求，及时履行信息披露义务，敬请以公司在官方渠道发布的公告为准。