南大光电：公司前驱体产品整体产能利用率超50%

来源：证星董秘互动

2026-06-18 18:30:27

证券之星消息，南大光电(300346)06月18日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：公司曾在调研中披露前驱体产品可用于先进逻辑制程。请问目前应用于3nm/5nm节点的ALD前驱体，在2026年Q2的出货量环比Q1是否有明显增长?该产品目前的产能利用率是否已超过50%?”
南大光电董秘：感谢您的关注！公司前驱体产品整体产能利用率超50%，具体销售情况请关注相关定期报告。

投资者：公司曾在调研中披露前驱体产品可用于先进逻辑制程。请问目前应用于3nm/5nm节点的ALD前驱体，在2026年Q2的出货量环比Q1是否有明显增长?该产品目前的产能利用率是否已超过50%?”
南大光电董秘：感谢您的关注！公司前驱体产品整体产能利用率超50%，具体销售情况请关注相关定期报告。

投资者：请问贵公司的三氟化氮纯度等级为多少N？总产能如何，是否达产？主要用途是什么，是否可以应用于高纯度六氟化钨的制造？
南大光电董秘：感谢您的关注！公司三氟化氮产品主要应用于IC、LCD制造中的等离子蚀刻和腔体清洗环节，现有产能9200吨。

投资者：董秘你好，MO源气体作为光芯片上游材料，近期有没有涨价效应，产品会不会供不应求
南大光电董秘：感谢您的关注！目前公司MO源产品售价稳定。

投资者：请问公司是否生产销售三甲基铟，如果有销售的话产品是否涨价，涨价幅度多少
南大光电董秘：感谢您的关注！公司三甲基铟产品售价稳定。

投资者：公司磷烷和砷烷目前产销如何？全球的半导体供应链紧缺，对于公司而言，是否存在机会。
南大光电董秘：感谢您的关注！公司氢类特气业务持续深耕成熟应用领域，聚焦品质安全与服务效能提升，不断巩固市场份额与技术优势。近年来，该业务保持稳健增长。

投资者：您好，请问目前MO源二季度销售情况是否同比增加；硫磺涨价对公司有和影响，谢谢
南大光电董秘：感谢您的关注！公司MO源销售情况稳定，具体请关注相关定期报告。现阶段，硫磺涨价未对公司业务产生明显影响。

投资者：董秘您好，近期关于光芯片上游MO源材料三甲基铟（TMI）在资本市场关注度极高，有几个具体问题想请教：1. 基于索尔思的扩产节奏，公司对2026-2027年来自索尔思的MO源收入是否有内部预期？相比2025年，是否有望实现同比例大幅增长？
南大光电董秘：感谢您的关注！目前公司MO源销售情况稳定。公司将积极关注市场，加快业务向高端化合物方向优化整合。

投资者：请问公司砷烷，和磷烷在市场处于什么地位，公司该业务目前发展怎么样？
南大光电董秘：感谢您的关注！公司于2013年承担国家02专项“高纯特种电子气体研发与产业化项目”，仅用3年时间就成功实现了高纯砷烷、磷烷的产业化，为我国极大规模集成电路制造提供了核心电子原材料。目前公司氢类电子特气的产能、品质已达到行业先进水平。