来源:格隆汇
2026-08-11 16:34:05
(原标题:北方华创(002371.SZ):公司ALE设备已实现多项工艺应用)
格隆汇8月11日丨北方华创(002371.SZ)在互动平台表示,公司ALE设备已实现多项工艺应用。ALE核心原理是以单原子层为单位,通过“表面吸附—反应去除”的分步循环反应,逐层精准去除材料表面原子,从而实现高精度、高均匀性且低损伤的刻蚀过程。
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