翼菲科技(06871)大幅扬升20% 推出Lobster系列晶圆机器人 加速布局半导体高端装备

金吾财讯 | 翼菲科技(06871)大幅扬升，报22.78港元，涨20.47%，成交额5302万港元。

消息面上，翼菲科技今日推出 Lobster 系列晶圆机器人，覆盖 4/6/8/12 寸晶圆传输场景，应用于上下料、设备对接、洁净搬运等环节。该产品搭载自研运动控制系统与精密机械结构，定位精度达 0.1mm，具备高速稳定、洁净柔性适配等特性。其通过德国 TÜV 莱茵 SEMI S2/S8/F47 认证，RW-A 型号达 ISO 1 级超洁净度。

翼菲科技半导体自动化装备已服务中芯国际等头部晶圆厂，进入至纯科技等核心客户体系。公司为芯源微供应寻边器、为邑文配套 ALD 倒片机、向比亚迪交付晶圆机械手、为迈为提供 EFEM 设备，合作客户均形成稳定复购，产品覆盖晶圆搬运、洁净检测、光刻配套等场景。据中国财富网，此举为国内先进半导体制造提供高精密国产装备支撑。