中泰股份：已具备高纯气体量产能力

证券之星消息，中泰股份(300435)10月10日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：你好！氖气（Ne）是DUV光刻机的“光源燃料”，请问公司具备量产的能力吗？是否已有供货？

中泰股份回复：您好，公司具备制取氪氖氙氦等稀有气体以及高纯电子保护气的装置及核心设备业绩，精制氪气氙气气体运营项目已生产出合格的氪氙气体，已具备向市场提供大量优质的高纯/超纯气体的能力，可应用于光刻、刻蚀、沉积等制程，感谢您的关注！

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