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拓荆科技获得发明专利授权:“晶圆中转承载装置”

来源:证券之星企业动态

2024-04-20 02:44:26

证券之星消息,根据企查查数据显示拓荆科技(688072)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆中转承载装置”,专利申请号为CN202011628736.5,授权日为2024年4月19日。

专利摘要:本发明公开了一种晶圆中转承载装置,包含一平台界面、一晶圆承载盘及一旋转台。所述旋转台经由一转动机构连接至所述平台界面,使所述晶圆承载盘与所述旋转台可同步于所述平台界面上方转动。所述旋转台具有一定位装置,所述平台界面具有一定位槽,所述定位装置与所述定位槽选择性配合,使所述晶圆承载盘与所述旋转台选择性相对于所述平台界面转动。

今年以来拓荆科技新获得专利授权4个,较去年同期减少了84%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2.1亿元,同比增78.77%。

数据来源:企查查

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2024-05-01

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