中石科技：公司的高导热相变材料或电磁屏蔽涂料尚未应用于光刻机领域

同花顺（300033）金融研究中心03月12日讯，有投资者向中石科技（300684）提问， ASML光刻机的光源系统（如EUV激光等离子发生器）需在极端温度下保持稳定性，公司的高导热相变材料（如导热凝胶）或电磁屏蔽涂料是否已通过国内光刻机厂商（如上海微电子）的测试？若未参与，是否因材料纯度（如金属离子杂质含量）未达到半导体设备级标准？

公司回答表示，尊敬的投资者您好，公司的高导热相变材料或电磁屏蔽涂料尚未应用于光刻机领域。感谢您的关注！

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